国内外研究表明，低温等离子体协同催化氧化技术比传统低温等离子体或单一催化氧化技术具有更好的净化效果。由于低温等离子体中的活性粒子寿命极短以及现有分析手的制约，对低温等离子体与催化剂的协同作用原理研究不是很多，大多仅是基于对反应产物和反应过程的光谱分析而进行推论，或者说很多研究仅仅基于某一因素对反应的影响而进行系统性研究的相对较少。 温等离子体化技术将催化剂引入等离子体系统，主要通过以下2种方式来实:化剂置于电区域内部inplasmacatalysis，ICP);b.催化剂置于放电区域后部(post plasma catalysis，PPC)。在这两种方式中，催化剂均通过以下3种形式负载于反应器内:a.涂覆于反应器壁或电极;b.填充床;c.催化剂膜层。 低温等离子体和催化协同作用处理有机废气的原理如下:等离子体中包含的离子、高能电子、激发态原子、分子及自由基都是高活性物质。它们可以加速通常条件下难以进行或速率很慢的降解反应，提高污染物的降解效果。同时，由于活性离子和自由基气体放电时，一些高能激发粒子向下跃迁产生紫外光，当光子或电子的能量大于半导体禁带宽度时，会激发半导体催化剂内的电子，使电子从价带跃迁至导带，形成具有很强活性的电子空穴对，并诱导一系列氧化还原反应的进行。光生空穴具有很强的捕获电子能力，可在催化剂表面形成羟基自由基，从而进一步氧化污染物。此外，催化剂可以选择性地与等离子体产生的中间副产物反应，得到理想的降解物质(如CO2和H2O)。因此，低温等离子体与催化剂协同作用时比单一催化剂或等离子体具有更好的脱除效果，可以更加有效地减少副产物的产生，提高CO2的选择性，进一步降低反应能耗。